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產(chǎn)品名稱： 熱場式場發(fā)射掃描電鏡 SU5000產(chǎn)品型號：產(chǎn)品時(shí)間： 2023-11-21熱場式場發(fā)射掃描電鏡 SU5000創(chuàng)新的“EM Wizard"界面更加直觀，僅需要“點(diǎn)擊"即可得到圖像。超前的電腦輔助技術(shù)將電鏡的操作與控制提升到一個(gè)新水平。
產(chǎn)品介紹
熱場式場發(fā)射掃描電鏡 SU5000
高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊
高靈敏度: 高效PD-BSD, 低加速電壓性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析
性能優(yōu)異
壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊
開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
熱場式場發(fā)射掃描電鏡 SU5000
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
| 分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV | |
| 放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | ZrO /W 肖特基式電子槍 |
| 加速電壓 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn)) | |
| 著陸電壓 | 減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1 | |
| 最大束流 | > 200 nA | |
| 探測器 | 低位二次電子探測器 | |
| 低真空模式*2 | 真空范圍: 10 - 300 Pa | |
| 馬達(dá)臺 | 馬達(dá)臺控制 | 5 - 軸自動 (優(yōu)中心) |
| 可動范圍 | X：0～100mm | |
| 最大樣品尺寸 | 最大直徑: 200 mm | |
| 選配探測器 | · 高分辨率頂位二次電子探測器＊1 · 高靈敏度低真空探測器 (UVD) · 5分割半導(dǎo)體探測器 (PD-BSD)*3 · 能譜儀 (EDS) · 波譜儀 (WDS) · 背散射電子衍射探測器 (EBSD) | |
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